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超凈工作臺的使用是一個要求很精準很嚴格的過程，所以在規劃時首先要了解所規劃的潔凈室凈化工程的用途、使用情況、生產工藝特點等、比如規劃的是集成電路生產用潔凈室凈化工程等。
1、了解試驗過程性質，比如說生產工藝特點；
2、了解試驗對凈化效果有哪些要求，比如空氣潔凈度等級、溫濕度控制范圍、以及其它環境要求數據等；
3、充分了解采用的生產工藝、工藝設備情況和對工藝布局；
4、確認超凈工作臺各區的工作效能，確認各類生產工序(房間)的空氣潔凈度等級和各種參數——溫度、相對濕度、壓差、微振動、高純物質的純度及雜質含量；
5、挑選潔凈室凈化工程的氣流流型并進行凈化空調體系的初步估算及規劃確認；
6、進行潔凈廠房的平面安置、空間安置，此時要安排好產品生產區的合理布局，要充分適應試驗流程，保證產品生產環境有利于操作、管理，節約能源。
在超凈工作臺空間規劃時應分考慮產品生產過程和潔凈室凈化工程內各種管線、物流運送的合理安排。在確認平面、空間安置后，對凈化工程涉及的各個專業內容、工藝的相關問題都要注意。
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